装置紹介(各種測定装置)

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X線光電子分光装置
機種名
Thermo Scientific K-Alpha
仕様
使用X線 AlKα線 (1486.6eV)
測定範囲 50μm~400μm
6cm×6cmのサンプルホルダの上にサンプルをピンか、両面テープで固定する
ピークフィッティング可能
特徴
  • サンプル表面の定性・定量と、アルゴンエッチングによる内部の測定が可能