装置紹介
下記以外にもご利用可能な機器があります。詳しくはお問い合わせください。
＜電子顕微鏡および関連機器＞
【SEM】サーマル電界放出形走査電子顕微鏡
場所：先端研究棟103号室
場所：先端研究棟103号室
【TEM】遠隔操作対応透過電子顕微鏡
場所：先端研究棟101号室
場所：先端研究棟101号室
【FIB】集束イオンビーム加工観察装置
場所：先端研究棟102号室
場所：先端研究棟102号室
電子線描画装置(50kV)
場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
ECRエッチング装置
場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
＜半導体製造関連装置＞
マスクレス露光装置
場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
マスクアライナー
場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
クリーンルーム（スピンコーター、光学顕微鏡）
場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
＜成膜・蒸着・膜厚測定＞
＜構造解析/元素分析＞
＜核磁気共鳴装置（NMR）＞
＜質量分析装置（MS）＞
＜熱分析・熱測定装置＞
差動型示差熱天秤（TG測定）リガク
場所：共同研究開発棟210号室
場所：共同研究開発棟210号室
差動型示差熱天秤(TG測定)ネッチ
場所：共同研究開発棟210号室
場所：共同研究開発棟210号室
＜各種測定装置＞
ナノ粒子径分布測定装置
場所：ビジネスインキュベーション棟210号室
場所：ビジネスインキュベーション棟210号室
全有機炭素計
場所：ビジネスインキュベーション棟210号室
場所：ビジネスインキュベーション棟210号室
X線光電子分光装置
場所：本館南403号室
場所：本館南403号室
電子スピン共鳴装置
場所：ビジネスインキュベーション棟101号室
場所：ビジネスインキュベーション棟101号室
ソーラーシミュレータ
場所：先端研究棟202号室
場所：先端研究棟202号室
薄膜・多孔質素材評価装置（ポロメータ）
場所：共同研究開発棟209室
場所：共同研究開発棟209室
デジタルPCRシステム
場所：先端研究棟302号室
場所：先端研究棟302号室