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機種名

M-2000DI-YK（J.A.Woollam）

仕様

波長範囲	195nm～1685nm
最小線幅	10nm
角度範囲	45度～90度
試料サイズ	10mmφ～200mmφ

特徴

• 薄膜やバルク材料の試料表面からの反射光の偏光状態の変化を測定して、薄膜の膜厚、光学定数（n：屈折率、k：消衰係数）を求めることができます。