装置紹介（成膜・蒸着・膜厚測定）

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3元RFマグネトロンスパッタ装置
機種名
ULVAC　ミニスパッタ　MNS-2000-RF
仕様
到達真空 1×10-5Pa
基板 最大56mmφ
ターゲット 50mmφ×5mmt
電源 RF　500W
加熱温度 ～800℃