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機種名

SPC-350(株式会社 エイコー)

仕様

ターゲット	5元×2チャンバー＝10元スパッタ可
到達圧力	3×10-7 Pa
電源	RF 500W，DC 1kW
基板寸法	～φ2インチ

特徴

本スパッタ装置のチャンバーは、ロードロック室1室とスパッタ室2室で構成され、各スパッタ室には5種類のターゲットを装着され、真空を破ることなく、ターゲットを切り替えて薄膜形成が可能です。装置はUHV(超高真空)対応であり、マグネトロンスパッタ法にて薄膜形成が可能です。