装置紹介（半導体製造関連装置）
クリーンルーム
- 仕様
-
面積 88.39m² 清浄度 クラス1000(HEPAフィルタ) 温度 23.0℃±2.0℃ 湿度 50％±10％ - 特徴
-
- クラス1000の半導体ドライプロセス仕様のクリーンルームです。
スピンコーター
- 機種名
- MS-B100・MS-A100（MIKASA）
- 仕様
-
試料サイズ 最大100mmΦ・1mm t 回転数 0-6000rpm 回転時間 最大999秒 回転制御 プログラム方式
最大100ステップ
光学顕微鏡
- 機種名
- BX51M（OLYMPUS）
- 仕様
-
接眼レンズ 10倍 対物レンズ 10,20,50,100倍 観察方法 明暗視野、微分干渉 照明系 落射照明 操作・解析 Windows仕様の画像解析ソフトウェア（OLYMPUS Stream）