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機種名

MJB3(カールズース)

仕様

光源	波長365nm（i線）,405nm（h線）(超高圧水銀灯) 350W(回折線減少露光光学系使用)
最小線幅	5μmL/S
最大マスクサイズ	4インチフォトマスク
最大ウエハサイズ	2インチウェハ
露光方式	密着露光

特徴

• 密着露光によって高い解像度の露光が可能です。