装置紹介（半導体製造関連装置）

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マスクレス露光装置
機種名
DDB-701-DL（ネオアーク）
仕様
露光用光源 360nmLED
DMD解像度 1280×800
露光エリア 25mm×25mm
最小描画線幅 3µｍ（10倍レンズ）、15µｍ（2倍レンズ）
特徴
  • 2種の対物レンズを保有しており、2倍を選択することにより厚膜レジストの露光も可能です。
利用例
本装置を使って描画した山口大学キャラクターのヤマミィ
膜厚250µmのSU-8レジストを2倍レンズで露光