>> 装置紹介一覧に戻る

機種名

日本電子株式会社 JSM-7600F

仕様

二次電子像分解能	1.0nm(15kV)
倍率	X25～X1,000,000(120ｘ90mm画像）
加速電圧	0.1kV～30kV
プローブ電流	1pA～200nA
EDS分析部 (元素分析)	Si(Li)検出器、分解能 129eV、検出可能元素 Be～U

特徴

• セミインレンズ対物レンズにより、高分解能・高画質を実現しており、0.1～ 3kVの低加速電圧での高分解能観察が可能です。
• 試料の最表面の観察が可能で、非導電性試料をそのまま観察することも可能です。