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文部科学省ナノテクテクノロジープラットフォーム高品質真空利用微細加工技術に関する支援


ご利用に関するお問い合わせ

質問をクリックすると回答が表示(スライドイン)されます。

【ご利用に関するお問い合わせ】

A:まずは,山口大学の微細加工支援室にご連絡ください。
お問い合わせ先:e-mail mail_addres
または技術相談窓口,お問い合わせフォームからもお問合せいただけます。
TEL・FAX 0836-85-9993(不在の場合は,留守電に連絡先を入れていただければ,こちらからご連絡いたします。)
窓口担当:微細加工支援室/木村 隆幸
A:必要です。支援申込み申請は年度単位となりますので,継続の案件であっても年度ごとに申請を行なってください。
A:必要です。申込書(機器利用・技術補助の場合は,常置機器利用申請書も必要)をご提出ください。
A:専門の技術支援員が装置の操作方法の説明・トレーニングを行います。
また,「技術補助」という利用形態もあります。これは,支援員の補助を受けながらユーザー自身で実験を行う形態です。
A:サンプルのみ送付いただいてこちらで加工も可能です。
但し,事前に電話・メール・Skype等で,詳細な打ち合わせをお願いいたします。
A:はい,技術相談させて頂きます。実施されたい内容について解決できるよう親身に相談させて頂きます。また,Webからもご相談いただけます。

【装置利用に関するお問い合わせ】

<装置全般>
A:クリーンルーム用品(クリーンウェア・使い捨て手袋・ウェス等)は,こちらで準備しています。
使用される薬品,レジスト,成膜ターゲット等については,事前にお問い合わせください。
A:事前にスタッフにお申し出ください。
原則持ち込み可能ですが,危険物や毒劇物等,一部お断りする場合があります。
また,廃液は山口大学の規則に則って処理しますが,持ち帰りをお願いする場合もありますのでご了承ください。
<微細加工関連>
A:金属材料や絶縁材料などシリコンウェハ以外の加工も可能です。事前にお問い合わせください。
<薄膜形成関連>
A:原理的にはできます。しかしながらスパッタ装置の超高真空性能の維持やコンタミネーションを回避するために,支援を控えさせていただく材料・場合があります。詳しくはお問い合わせください。
A:機関が現有しているターゲット(汎用材料)については,ユーザー側で準備していただく必要はありません。
新たに準備しなければならないターゲットや高額なターゲット(貴金属やレアアース等)については,ユーザー側で準備をお願いいたします。詳しくはお問い合わせください。
<真空など分析関連>
A:電子デバイスや機械部品などデバイス稼働中のガス分析が可能です。対象材料は有機材料・金属材料・絶縁材料などあらゆる材料に対応可能です。検知下限は使用するガス分析装置やガス種により異なりますので,事前にお問い合わせください。
<故障>
A:ユーザー側に重大な過失がある場合は,費用を請求させていただきます。

【ご利用料金に関する問い合わせ】

A:支援の内容によりますが,支援に必要な機器の使用料 と,これに消耗品の費用が多少加わると考えてください。詳しくはお問合せください。
A:原則的には毎月末〆で請求ですが,ご希望にあわせて設定できますので,ご相談下さい。

【成果利用に関するお問い合わせ】

A:原則,成果は公開することになります。(A4サイズ1枚程度の報告書が必要になります)
ただし,内容によっては2年間の公開猶予期間を設定することができるので,この間に権利の取得等が行えます。
また,自主事業として非公開で支援機器の利用が可能です。 この場合の機器利用料金は別途ご相談になります。