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文部科学省ナノテクテクノロジープラットフォーム高品質真空利用微細加工技術に関する支援


ご挨拶

平成24年度より,山口大学は,ナノテクノロジーに関する最先端の研究設備とその活用のノウハウをもつ機関が緊密に連携して,全国的な設備の共用体制を共同で構築する,文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業※1 において「微細加工プラットフォーム」※2 の実施機関の一つに採択されました。

本学はこれまでに,文部科学省 先端研究施設共用イノベーション創出事業 「ナノテクノロジー・ネットワーク」(平成19年度-23年度)※3 に参画し,「シリコンナノ加工と高品質真空利用技術に関する支援」(高品質真空利用技術に関する支援)』を担当し,デバイス作製装置や真空装置等の共用による共同研究・設備利用・技術代行によって92件の支援を実施しました。この実績をもとに,今度の「ナノテクノロジープラットフォーム」事業においては大学研究推進機構内に微細加工支援室を設けて,微細加工技術およびそれを下支えする真空技術分野で本学が保有する一部の設備の学外(企業,他大学,高専,公設試など)への共用を推進します。

是非,本制度によって微細加工,薄膜等の材料作製,真空技術等の技術分野での共同研究・設備利用・技術代行のサービスをご利用下さい。

実施責任者/大学研究推進機構微細加工支援室長 山本節夫