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◇諸橋 信一 教授『平成23年度SP部会賞』受賞

平成23年7月26日、日本真空協会のスパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第124回定例研究会において、本事業担当者の一人である諸橋 信一 教授が『平成23年度SP部会賞』を受賞、表彰式と記念講演が行われました。
ユニークな薄膜形成手法である「回転型対向スパッタ及び磁場分布可変型対向スパッタ」装置に係わる一連の研究が評価されたものです。
このスパッタ装置は、本ナノネット事業において利用可能です。


「中国地区ナノテクノロジー・ネットワーク
平成23年度 電子線描画リソグラフィスクール」

平成23年度電子線描画リソグラフィスクールが、2011年6月7日から10日にかけて、山口大学産学公連携・イノベーション推進機構の先端研究棟において開催されました。

※詳細はこちらをご覧ください。


■新聞記事掲載■

2010年10月6日付  宇部日報で、山口大学ナノテク支援の取り組みや実績について紹介されました。

概要
文部科学省の「ナノテクノロジー・ネットワーク」プロジェクトの一環として、 広島大学と連携し、真空技術をベースとして主に非シリコン系材料の作製および微細構造形成の支援を行っています。