ページの本文へ
山口大学ロゴマーク

文部科学省ナノテクテクノロジープラットフォーム高品質真空利用微細加工技術に関する支援


実績・支援例

文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業(平成24年度~)での
支援実績

利用者の所属機関内訳(平成28年度)

利用者の所属機関内訳

支援件数の年次推移と利用形態内訳

支援件数の年次推移と利用形態内訳

真空装置材料の表面処理技術開発

真空装置材料の表面処理技術開発
アルミニウム材料を利用した真空装置材料の表面処理技術を開発。
(450mmウェハ対応真空チャンバ:ローツェ株式会社)

メタマテリアル微小構造体の作製

左手系メタマテリアルのSEM像およびイメージ図
2層レジスト法を用いて作製した2次元平面型マッシュルーム構造をもつ左手系メタマテリアルのSEM像およびイメージ図

薄膜の形成と特性評価

EuS膜のAFM像
InP(100)基板上へ成長したEuS膜のAFM像

真空装置材料のガス脱離特性評価

ERI用電子源のチタン製チャンバー
ERI用電子源のチタン製チャンバー
(高エネルギー加速器研究機構)

微細素子の作成と特性評価

コプラナーウェーブガイドおよび微小PyドットのSEM像
電子線リソグラフィーとリフトオフ法によって作成した,コプラナーウェーブガイドおよび微小PyドットのSEM像