実績・支援例
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業(平成24年度~)での支援実績
真空装置材料のガス脱離特性評価
昇温脱離ガス分析装置を用いて極高真空中での発生ガスの少ないチタン系材料、及び表面処理法等を開発。
これにより、次世代光源であるエネルギー回収型放射元光源に用いる高輝度電子銃(500keV)の開発に成功し、大強度加速器の実現可能性が高まった。
真空装置材料の表面処理技術開発
アルミニウム材料を利用した真空装置材料の表面処理技術を開発。

 図:450mmウェハ対応真空チャンバ:ローツェ株式会社
アモルファス型小型太陽電池の昇温脱離ガス測定
3種類の太陽電池デバイスに光を照射しながら昇温した場合の脱離ガスと開放電圧の比較を行った。
多分岐ポリマー電子線レジストの描画性能評価
クリーンルーム内で塗布→ベーク→描画→現像までの一連の作業を行うことが可能。様々なポリマー型電子線レジストの描画性能・エッチング耐性評価を行っている。
こちらの例は三分岐構造を持つPMMAレジストの評価支援を行った結果である。

 図:高アスペクト比Line &Spaceパターン(左)、傾斜露光によるブレーズドサークルパターン(右)
Si深掘りエッチングによる高アスペクトホール・ピラーの作製

 図:BOSCHプロセスを用いたSi深掘りエッチングにより作製されたホール(左)・ピラー(右)
メタマテリアル微小構造体の作製

 図:2層レジストを用いて作製した2次元マッシュルーム型メタマテリアル用レジストパターン
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