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文部科学省ナノテクテクノロジープラットフォーム高品質真空利用微細加工技術に関する支援


装置紹介

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【昇温脱離ガス分析装置(高感度型)】

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仕様

昇温脱離ガス分析装置(高感度型)の仕様
真空容器 チタン製(超低ガス放出)
圧力 2×10-8Pa以下
測定下限 5×10-12Pa(N2)
QMSの分圧下限で測定可能
加熱温度 1,000℃
質量範囲 1~100(QMS)

特徴

昇温脱離ガス分析は,種々の材料の表面吸着ガスや溶存ガスの脱離分析ができるので,真空材料のガス放出量を測定できることをはじめとして,電子デバイス,環境デバイスの表面の汚染や生体材料の含有ガス分析などが可能です。